特点

 分辨率(SEM)
 高真空(二次电子)
      (BSE,LVSTD)
 分辨率(FIB)


3nm(30kV),8nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV) 

3.5nm(30kV)
Canion系列: <5nm(30kV);Cobra系列:<2.5nm(30kV)

 工作真空
 低真空模式
 电子枪真空
 离子枪真空

3-500Pa(可选配2000Pa)
<3×10-7 Pa 
<5
×10-6 Pa 
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样  
 放大倍率 1x-1,000,000x(SEM);150x-1,000,000x(FIB) 
 加速电压 200V至30KV(SEM);0.5KV至30KV(FIB) 
 电子枪 钨灯丝(SEM);液态金属镓离子源(FIB) 

 探针电流(SEM)
 探针电流(FIB)

1pA至2μA(SEM)
Canion系列:1pA至40nA; Cobra系列:1pA至50nA

 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调 
 扫描特性 动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸
最大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1 
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VELA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现  
 自动程序 专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束,根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag),自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),自动调整饱和电流,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整
 远程控制 通过TCP/IP 
  样品室
 内部尺寸 285mm宽×340mm深
 门宽 285mm宽×320mm深 
 接口数量 12+  
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围
X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-30°到+90°——马达驱动 
 样品高度 最大139mm 
 软件
 测量软件
 图象操作
 图象处理
 三维扫描
 硬度测量
 多图校正
 投影面积
 打印放大倍率
 关机定时器
 公差测量
 
 形态学
 颗粒度分析
 自动抓图
 图象观测
 电子束写入
 鼠标连接
 


 

●标配 ○选配

规格

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