独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。
特点

 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)

 1.0nm(15kV)
 2.0nm(15kV) 
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1×-1000000×连续可调
 加速电压 200V至30kV(选配50V至30kV)
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸
最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可 在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
 样品室
 内部尺寸 340mm
可根据客户要求定制样品室。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围
全马达驱动控制方式:
X=130mm--马达驱动 
Y=130mm--马达驱动
Z=100mm--马达驱动
旋转:360°连续可调--马达驱动
倾斜:-80°到+90°--马达驱动
 软件
 测量软件
 图象操作
 图象处理
 三维扫描
 硬度测量
 多图校正
 投影面积
 打印放大倍率
 关机定时器
 公差测量
 
 形态学
 颗粒度分析
 自动抓图
 图象观测
 电子束写入
 鼠标连接
 


●标配 ○选配

规格

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