为了让实验室的工作流程能够按部就班,在着手进行晶圆片截面样品制备时就应采用 LatticeAx。与手动切割相比,LatticeAx的结果可重复、精度更高;与价格昂贵的自动机机械相比,LatticeAx的成本更低、速度更快。由于 LatticeAx 既快速(不到 5 分钟)又精确(±10μm),因此可将样品流直接送达扫描电镜,并且减少了要求苛刻的其他样品制备工具所遇到的瓶颈。
特点


最小样品尺寸:

•  将 Ax 用于设置-压痕-切割全过程——最小样品尺寸为 9mm宽。

•  <9 mm 时,使用带有小样品附件包的 LatticeAx。


最大样品尺寸:

•  8" 晶圆片或者 ½- 300mm 晶圆片。


经济型和豪华型套装包含 SW 特性。

•  视频调整—对比度和亮度。

•  图形工具(线条、角度、框)——至目标位置、距离。

•  保存图像。


安装要求

•  用于支撑 LatticeAx 的平稳表面——18"(41cm)宽、24"(61cm)深。

•  真空泵和计算机电源(110V 或 220V)。

•  光纤电源(仅豪华型套装)。

•  运行 windows 7或8、支持 1600X1200 屏幕分辨率的计算机,并配备:

o  鼠标

o  键盘

o  监视器

o  监视器视频电缆

                           


规格

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