为了让实验室的工作流程能够按部就班,在着手进行晶圆片截面样品制备时就应采用 LatticeAx。与手动切割相比,LatticeAx的结果可重复、精度更高;与价格昂贵的自动机机械相比,LatticeAx的成本更低、速度更快。由于 LatticeAx 既快速(不到 5 分钟)又精确(±10μm),因此可将样品流直接送达扫描电镜,并且减少了要求苛刻的其他样品制备工具所遇到的瓶颈。
特点

已申请专利的 LatticeAx110 可作为所有 LatticeAx 产品的通用切割平台,能在各种样品(类型、尺寸、形状)上实施高质量的切割。每个用户都可以在 2 分钟内高质量地切割各种尺寸、厚度及材料的样本。

它集成了:


•    将样品紧固到固定位置的台架。

•    由精密旋钮控制的精细钻石压痕器尖头,用于形成初始表面压痕。

•    能以缓慢、可控方式进行切割的切割杆。


切割流程简明、可重复,使每个用户都能在 5 分钟内实现高质量的切割。LatticeAx110 还能与光学显微镜结合使用,用于实现高精度切割。

规格

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