为了让实验室的工作流程能够按部就班,在着手进行晶圆片截面样品制备时就应采用 LatticeAx。与手动切割相比,LatticeAx的结果可重复、精度更高;与价格昂贵的自动机机械相比,LatticeAx的成本更低、速度更快。由于 LatticeAx 既快速(不到 5 分钟)又精确(±10μm),因此可将样品流直接送达扫描电镜,并且减少了要求苛刻的其他样品制备工具所遇到的瓶颈。
特点

LatticeAx110 与 LatticeGear 的豪华型套装的二合一。LatticeAx300 是 LatticeGear 性能最高的切割解决方案。它将视觉套装与 5μm 光学分辨率、对所有轴的精确控制集成在一起,可在 5 分钟内以 10 um 的精度进行切割。

豪华套装

•    X-Y-R 样品定位台架(X 和 Y 方向行程为 50 mm)。

•    Navitar 6000 6.5x 缩放单目显微镜,细焦点为 12 mm,分辨率为 14.5 - 4.7 微米。

•    Sentech 彩色 USB 2.0 CCD 相机,UXGA、1600x1200 像素。

•    光纤环形灯照明。

•    工业杆及臂架系统,带有倾斜粗聚焦支架。

•    定制的 13x17" 重型工作面。

规格

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