分辨率(FESEM)
高真空模式(二次电子)
低真空(背散射电子)
(低真空二次电子)
分辨率（FIB)
|
1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.2nm(3kV)
2.0nm(30kV)
1.5nm(30kV)
25nm(30kV)
|
工作真空
低真空模式
电子枪真空
离子枪真空
|
7-500Pa
<3×10-7 Pa
<5×10-6 Pa
|
|
电子光学工作模式
|
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
|
|
放大倍率
|
1x-1,000,000x(FE-SEM); 150x-1,000,000x(FIB)
|
|
加速电压
|
200V至30KV(FE-SEM);3KV至30KV(FIB)
|
|
电子枪
|
高亮度肖特基(FE-SEM);氙离子源(FIB)
|
|
探针电流(SEM)
探针电流(FIB)
|
2pA至200nA
20pA至40uA
|
|
扫描速度
|
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
|
|
聚焦窗口
|
形状、尺寸和位置连续可调
|
|
扫描特性
|
动态聚焦，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
|
图象尺寸
|
大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1
|
|
显微镜控制
|
通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作LYRA TC软件，所以显微镜的功能均可
在WindowsTM平台下实现
|
|
自动程序
|
专利的实时电子束追踪技术自动优化电子束，束斑直径和束流连续可调，自动聚焦&消象散，自动调整对比度&亮度，自动调整扫描速度（根据信噪比），打开/关闭电子枪，电子枪合轴，透镜&光阑对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度级调整
|
|
远程控制
|
通过TCP/IP
|
