独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。
特点

 分辨率(FESEM)
 高真空模式(二次电子)
 低真空(背散射电子)
    (低真空二次电子)
 分辨率(FIB)

1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.2nm(3kV)
2.0nm(30kV)
1.5nm(30kV)

25nm(30kV)

 工作真空
 低真空模式
 电子枪真空
 离子枪真空 

7-500Pa
<3×10-7 Pa 
<5×10-6 Pa 
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1x-1,000,000x(FE-SEM); 150x-1,000,000x(FIB)
 加速电压 200V30KV(FE-SEM);3KV30KV(FIB)
 电子枪 高亮度肖特基(FE-SEM);氙离子源(FIB)

 探针电流(SEM)
 探针电流(FIB)

2pA至200nA

20pA至2uA

 扫描速度 从20ns/pixel10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸
最大可达8192×8192像素,图象比例可选114321
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作LYRA TC软件,所以显微镜的功能均可
WindowsTM平台下实现
 自动程序 专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束,束斑直径和束流连续可调,自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),打开/关闭电子枪,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整
 远程控制 通过TCP/IP
 样品室
 内部尺寸  340mm宽×315mm
 门宽  340mm宽×320mm高
 接口数量  20+
 样品室减振方式  内置主动式电磁减振
 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型  全电脑化优中心



 移动范围
 

 X=130mm —— 马达驱动

 Y=130mm ——马达驱动

 Z=100mm —— 马达驱动

 旋转:360°连续可调——马达驱动

 倾斜:-60°到+90°——马达驱动
 样品高度  最大139mm
 软件
 测量软件
 图象操作
 图象处理
 三维扫描
 硬度测量
 多图校正
 目标面积
 打印放大倍率
 关机定时器
 公差测量
 
 形态学
 颗粒度分析
 自动截图
 图像观测
 鼠标连接
 

 

●标配 ○选配

规格

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